吉佳蓝中国总部启用半年多即实现出货，跑出了项目建设的加速度！10月13日，吉佳蓝自主研发的首台8英寸电感耦合等离子深硅刻蚀机NeoGEN—MAGMA200D，在经过装配、检验和调试及场内工艺验收后，成功发货，这标志着公司在高端半导体设备制造领域迈出了坚实一步，将进一步推动半导体刻蚀设备的国产化进程。
现场看到，这台8英寸深硅刻蚀设备装入专用木箱后被放置到卡车上，即将发往客户。据介绍，这台深硅刻蚀设备具有高深宽比、均匀性优秀、刻蚀速率快、刻蚀角度满足度高、侧壁粗糙度优化等特点。
吉佳蓝公司成立于2000年，是在韩国上市的半导体设备制造企业，专注于半导体设备的生产研发。公司已经深耕半导体产业25年以上，积累了国内外尖端Fab专用的设备以及工艺量产经验，主要产品包括等离子干法刻蚀机、纳米压印光刻设备等。
吉佳蓝中国总部副总经理王琦介绍：“公司生产4—12英寸干法刻蚀设备以及纳米压印设备，具备20纳米工艺能力，在中国市场累计销售半导体刻蚀设备已超800台。为了贴近客户，实现本地化服务，吉佳蓝决定到中国建设半导体刻蚀设备研发制造基地。”今年3月，吉佳蓝中国总部在无锡高新区新港集成电路装备零部件产业园启用，承接吉佳蓝中国半导体设备业务并向全球供货，助推吉佳蓝集团在全球半导体刻蚀设备领域抢占更大市场、把握更大主动。
据了解，吉佳蓝在无锡考察了十多个产业园，最终选择落户位于无锡高新区的新港产业园，因为这里的物理空间非常符合研发生产需要，而且区域内产业链齐全，企业所需的测试等配套服务在无锡高新区范围内就可以完成。另外，招商人员不仅是专业招商“多面手”，对企业的服务也很贴心，最终让公司选择落户。公司在短时间内实现发货，与园区良好的营商环境密不可分。（张安宇）
